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電子行業(yè)潔凈保障，冷鏡式露點(diǎn)儀守護(hù)半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境

更新時(shí)間：2025-09-01   點(diǎn)擊次數(shù)：145次

電子行業(yè)的半導(dǎo)體芯片、液晶面板生產(chǎn)，對(duì)潔凈車(chē)間的濕度（露點(diǎn)）要求極-高 —— 低露點(diǎn)環(huán)境可防止芯片受潮氧化，避免電路短路。冷鏡式露點(diǎn)儀憑借超高精度與實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)能力，成為電子行業(yè)守護(hù)生產(chǎn)環(huán)境的 “潔凈保障"。

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在半導(dǎo)體晶圓制造的光刻環(huán)節(jié)，潔凈室露點(diǎn)需控制在 - 70℃Td 以下（極-高潔凈度等級(jí)），儀器采用超高精度制冷系統(tǒng)（控溫精度 ±0.05℃），搭配激光凝露檢測(cè)技術(shù)，可精準(zhǔn)捕捉極低露點(diǎn)下的微量水分，測(cè)量范圍覆蓋 - 80~+5℃Td，分辨率達(dá) 0.001℃Td，滿(mǎn)足 SEMI F21-0706《半導(dǎo)體制造環(huán)境濕度測(cè)量指南》要求。針對(duì)液晶面板生產(chǎn)的無(wú)塵車(chē)間，儀器支持多點(diǎn)組網(wǎng)監(jiān)測(cè)（最多可連接 32 個(gè)檢測(cè)點(diǎn)），實(shí)時(shí)監(jiān)控不同生產(chǎn)區(qū)域的露點(diǎn)差異，避免因局部濕度偏高導(dǎo)致的面板不良率上升。

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儀器外殼采用防靜電材質(zhì)，符合電子行業(yè) ESD 防護(hù)要求，可避免靜電干擾芯片生產(chǎn)。數(shù)據(jù)支持與電子廠(chǎng) MES 系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)露點(diǎn)超出閾值時(shí)，立即觸發(fā)車(chē)間新風(fēng)系統(tǒng)調(diào)整，響應(yīng)時(shí)間≤10s，確保潔凈室露點(diǎn)穩(wěn)定。應(yīng)用后，半導(dǎo)體芯片的不良率可降低至 0.1% 以下，為電子企業(yè)減少巨額損失。